旋片式多級泵轉(zhuǎn)子以一定的偏心距裝在多級泵殼內(nèi)并與泵殼內(nèi)表面的固定面靠近，在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩個(或兩個以上)旋片，當轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時旋片能沿其徑向槽往復滑動且與泵殼內(nèi)壁始終接觸，此旋片隨轉(zhuǎn)子一起旋轉(zhuǎn)，可將泵腔分成幾個可變?nèi)莘e。旋片式泵屬于低多級泵。它可以單獨使用，也可以作為其他高真空泵或超高多級泵的前級泵。旋片多級泵多為中小型泵，產(chǎn)品已經(jīng)系列化。旋片泵有單級和雙級兩種，一般多做成雙級的，以獲得較高的泵度。旋片多級泵絕大多數(shù)是單工作腔結(jié)構(gòu)，常用兩個徑向滑片，也有用三個斜置滑片的。貫穿滑片多級泵也有應用。